嘉富億科技股份有限公司-膜厚儀
國際環保法令
名詞解釋
- XRF射線螢光分析儀
- 歐盟ROHS指令
- 歐盟REACH法規:SVHC 
- 無鹵規範
- 美國CPSIA法令 
- 有害物質
-
膜厚
- EDS
- 非破壞檢測 

產品介紹
- 螢光X射線分析儀(桌上型XRF)
- 螢光X射線分析儀(手持式XRF)
- X射線繞射儀(XRD)
 

XRF膜厚檢測

《膜厚應用及說明》

1. 膜厚儀利用XRF測定電鍍膜厚原理
利用X射線的能量激發樣品中的金屬元素,使它產生特徵XRF射線螢光,膜厚儀通過檢測器檢測到XRF螢光的強度來計算金屬鍍層的厚度。具有非破壞,快速簡便的優點。檢測的範圍大約從0.01到100μm,根據元素不同會有所差異。

下圖所示為Au(電鍍層)、Cu(材料)的X射線強度關係。由此例可知,距離表面越深的部分,其產生的X 射線越少。這是因為原X 射線被表面所吸收,很難透過物質內部深處,同時,所發生的螢光X 射線受到表面層的吸收,不容易從深層逃逸,這是二者的複合效果。

因此,當表面層膜厚超過一定厚度時,XRF射線將不能透過,同時,膜厚儀螢光XRF射線強度也不再發生變化。該厚度稱之為試樣的無限厚。該無限厚的厚度因物質的成分和密度的不同而有差異。如果是金屬的話是微米級(數十到數百μm),樹脂等為數mm 的厚度。該現象與螢光XRF 射線的能量也有關係,能量高的螢光X 射線也可以從深層逃逸出來,但是能量低的螢光X 射線很難從深層逃逸出來。螢光X 射線的能量與週期率相關,在輕元素中,原子序號越小,其螢光XRF 射線的能量越小,無限厚也就變得越薄。

XRF膜厚儀測試

2. SEA系列產品電鍍膜厚測定特點說明
可檢測金屬鍍層厚度,最多可測五層,定量方法包括:
.標準品檢量線法
以XRF分析已知膜厚的標準試片,求出膜厚與X線強度之關係曲線,利用線性迴歸求出一條直線,此線便稱檢量線。當檢測未知膜厚樣品時,即可將檢測所得的X線強度對應檢量線,便可得到樣品的膜厚。

.FP基本參數法
無法取得標準試片時,便利用基本參數法將接收到X線強度,以理論推定膜厚。
SEA系列產品可依照客戶需求自建膜厚資料庫,最小膜厚可測至0.05μm。

 
 
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